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 原子力顯微鏡（atomic force microscope，簡(jiǎn)稱(chēng)AFM）利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細(xì)探針與受測(cè)樣品原子之間的作用力，從而達(dá)到檢測(cè)的目的，具有原子級(jí)的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀(guān)察導(dǎo)體，也可以觀(guān)察非導(dǎo)體，從而彌補(bǔ)了掃描隧道顯微鏡的不足。
相對(duì)于掃描電子顯微鏡，原子力顯微鏡具有許多優(yōu)點(diǎn)。不同于電子顯微鏡只能提供二維圖像，AFM提供真正的三維表面圖。同時(shí)，AFM不需要對(duì)樣品的任何特殊處理，如鍍銅或碳，這種處理對(duì)樣品會(huì)造成不可逆轉(zhuǎn)的傷害。第三，電子顯微鏡需要運(yùn)行在高真空條件下，原子力顯微鏡在常壓下甚至在液體環(huán)境下都可以良好工作。這樣可以用來(lái)研究生物宏觀(guān)分子，甚至活的生物組織。原子力顯微鏡與掃描隧道顯微鏡（Scanning Tunneling Microscope）相比，由于能觀(guān)測(cè)非導(dǎo)電樣品，因此具有更為廣泛的適用性。當(dāng)前在科學(xué)研究和工業(yè)界廣泛使用的掃描力顯微鏡（Scanning Force Microscope），其基礎(chǔ)就是原子力顯微鏡。
和掃描電子顯微鏡(SEM）相比，AFM的缺點(diǎn)在于成像范圍太小，速度慢，受探頭的影響太大。


美國(guó)DI公司 原子力顯微鏡
使用自動(dòng)化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù)，可測(cè)量直徑可達(dá)200毫米的半導(dǎo)體硅片、刻蝕掩膜、磁介質(zhì)、CD/DVD、生物材料、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。

原子力顯微鏡研究對(duì)象可以是有機(jī)固體、聚合物以及生物大分子等，樣品的載體選擇范圍很大，包括云母片、玻璃片、石墨、拋光硅片、二氧化硅和某些生物膜等，其中最常用的是新剝離的云母片，主要原因是其非常平整且容易處理。而拋光硅片最好要用濃硫酸與30%雙氧水的7∶3 混合液在90 ℃下煮1h。利用電性能測(cè)試時(shí)需要導(dǎo)電性能良好的載體，如石墨或鍍有金屬的基片。

試樣的厚度，包括試樣臺(tái)的厚度，最大為10 mm。如果試樣過(guò)重，有時(shí)會(huì)影響Scanner的動(dòng)作，請(qǐng)不要放過(guò)重的試樣。試樣的大小以不大于試樣臺(tái)的大?。ㄖ睆?0 mm）為大致的標(biāo)準(zhǔn)。稍微大一點(diǎn)也沒(méi)問(wèn)題。但是，最大值約為40 mm。如果未固定好就進(jìn)行測(cè)量可能產(chǎn)生移位。請(qǐng)固定好后再測(cè)定。